三坐標測量機是近年發展起來的一種高效率的新型精密測量儀器。它的出現，一方面是由于自動機床、數控機床高效率加工以及越來越多復雜形狀零件加工需要有快速可靠的測量設備與之配套；另一方面是由于電子技術、計算機技術、數字控制技術以及精密加工技術的發展為三坐標測量機的產生提供了技術基礎。
正確使用三坐標測量儀對其使用壽命、精度起到關鍵作用，應注意以下幾個問題:
1、工件吊裝前，要將探針退回坐標原點，為吊裝位置預留較大的空間;工件吊裝要平穩，不可撞擊三坐標測量儀的任何構件。
2、正確安裝零件，安裝前確保符合零件與測量機的等溫要求。
3、 建立正確的坐標系，保證所建的坐標系符合圖紙的要求，才能確保所測數據準確。
4、當編好程序自動運行時，要防止探針與工件的干涉，故需注意要增加拐點。
5、對于一些大型較重的模具、檢具，測量結束后應及時吊下工作臺，以避免工作臺長時間處于承載狀態。
三坐標測量機的維護保養方法如下：
由于壓縮空氣對三坐標測量儀的正常工作起著非常重要的作用，所以對氣源的維修和保養非常重要。其中有以下主要項目:
1、每天使用三坐標測量儀前檢查管道和過濾器，放出過濾器內及空壓機或儲氣罐的水和油。
2、一般3個月要清洗隨機過濾器和前置過濾器的濾芯。空氣質量較差的周期要縮短。因為過濾器的濾芯在過濾油和水的同時本身也被油污染堵塞，時間稍長就會使測量機實際工作氣壓降低，影響三坐標測量儀正常工作。一定要定期清洗過濾器濾芯。
